外媒：ASML“硬氣”了
來自荷蘭的
ASML
，由一家小公司，逐步成長壯大，超過日本兩大光刻機巨頭尼康和佳能，成了全球光刻機領域的最大巨頭，並且還獨家壟斷了最為先進的
EUV
光刻機。
全球各地的晶圓製造廠都要依賴
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的中高階光刻機，這確實足以讓
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傲氣十足。然而，隨著形勢的發展，
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的態度開始轉變了，對我們和對美方都在變化。
光刻機是晶片製造過程中不可缺少的核心裝置，它之所以被稱為人類工業皇冠上的明珠，主要是因為它集成了全球多國多項最高階的技術，所要求的精準度非常之高。
其實，我國光刻機的起步並不晚，早在
20
世紀
60
年代，中科院就開始研究，
1965
年就研製出第一臺接觸式國產光刻機，
1985
年研發成功了第一臺分散式投影光刻機。
此時，
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才成立一年之久，我國的光刻機水平跟國際先進水平的差距才不到
7
年。
如果照此發展下去，也許將出現國產光刻機的輝煌。然而，受到了當時造不如買的思想衝擊，加上《瓦森納協定》的阻撓限制，國產光刻機沒能走進市場應用而落寞了。
不過，到
2000
年時光刻機技術重新受到重視，之後還被列入到了國家專項科技攻關計劃，
2002
年專注於光刻機的上海微電子成立，總經理賀榮明還帶隊到歐洲考察學習。
當時就有國外工程師直言道，即使給你們全套光刻機圖紙，你們也做不出來光刻機。
這句話一方面說明了光刻機的製造難度之在，想讓我們知難而退。另一方面也透露出了對我們研發光刻機的輕蔑態度，認為我們根本不可能做出難度那麼大的光刻機。
其實，
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的態度也是如此，之前從來沒想過我們能夠做出光刻機。但上海微電子確實做到了，如今已經做了
90nm
的國產光刻機，這讓國內關鍵部門不擔心受限制。
隨著我們光刻相關技術的突破，
ASML
態度開始轉變了，大陸可能會造成高階光刻機。
不僅如此，前段時間
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的總裁還直接表示，繼續限制光刻機賣給中企，
5
年內他們將掌握所有
EUV
光刻技術，
15
年之後
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或將失去行業話語權，後果非常嚴重。
由於
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的
EUV
技術來自於美方，不少零部件來自於美企，因此
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在
EUV
光刻機出貨上只能乖乖聽話，限制
EUV
光刻機給中企，所以中芯國際訂購的至今未到貨。
後來，
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對
EUV
的限制出貨也有些不滿了，所以才會有了上邊所說的這一段話。
如今，美方對我們的晶片限制措施逐步收緊，又盯上了
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的
DUV
光刻機，想要進一步擴大
DUV
出貨限制。而
ASML
不能出貨
EUV
給中企，就靠
DUV
來拓展市場了。
因此，對於美方的這個要求，
ASML
不再那麼言聽計從，直接表示如果限制
DUV
出貨給中企，將會造成全球供應鏈中斷，再說他們是一家歐洲公司，沒必要跟隨限制。
荷蘭政府方面也表示，美方不應該對他們的企業發號施令，他們不會照搬限制措施。
近日，位於上海臨港新片區的鼎泰匠芯傳來好訊息，潔淨室正式交付，還搬入了首臺
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光刻機。這再次證明了
ASML
的態度，不會聽從美限制，將繼續出貨
DUV
。
其實，
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早就下定了決心。面對大陸這個全球最大的半導體市場和全球最大的半導體裝置市場，
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當然不想錯過，一直在默默地加大大陸的佈局力度和重視程度。
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已連續四次參加上海世博會，還擴大大陸員工招聘，首次設定了
ASML
中國日。
當然，
ASML
對我們和對美方態度的轉變，一切還是基於他們自身的利益。
ASML
非常明白，大陸的光刻技術進步非常快，再不加大力度搶佔市場，以後可能沒機會了。
對於，
ASML
頂住美方壓力，
堅持向中企出貨
DUV
光刻機，外媒對此評價道，
ASML
開始“硬氣”了。而我們無論如何，還是要加大光刻機自研力度，爭取實現國產！
