氣浮運動平臺之QFR系列氣浮旋轉臺

在國家大力發展高階製造，鼓勵發展自主品牌的大背景下，由多年從事精密運動平臺研發和生產的技術人員共同組建成立。團隊具有多年核心部件研發經驗，擁有多種高階應用領域經驗，成熟的產品應用案例。經過多年精密運動平臺的技術積累和沉澱，已形成了一整套完備的精密運動平臺系統的研發和生產體系。特別在氣浮理論計算、實驗模擬分析、結構最佳化設計、精密整合組裝和測試等方面具備雄厚的實力。

背景介紹 BACKGROUND INTRODUTION

QFR 系列氣浮旋轉臺在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩定性和奈米級跳動。QFR 的設計滿足生物檢測、晶圓檢測、高精度計量、X 射線衍射系統、光學檢測和製造以及 MEMS/ 奈米技術裝置製造等高階行業。

密封式設計 SEALED DESIGNING

對QFR 直驅旋轉臺進行了最佳化設計，使工作臺面降到最低，這種設計結構有效的降低了工作點的高度， 最大減少因與其他軸疊層引起的阿貝誤差。密封式 結構具有高剛度和大負載承重，不僅有較低的軸向 和徑向端跳誤差，而且傾角誤差比較小，由此產生 的面誤差明顯優於其它氣浮轉檯或氣浮主軸，有利 於各種應用。

非接觸式結構 NON-CONTACTSTRUTURE

QFR 採用無齒槽無刷電機和氣浮軸承，最大限度的提高了定位效能。電機採用先進的磁路設計，以最小的熱量產生高扭矩輸出，無齒槽設計固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，這使得 QFR 非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉等應用。

高精度效能 HIGH PRECISION PERFORMANCE

氣浮轉檯採用精密圓光柵反饋，先進的驅動控制對光柵訊號細分，解析度達 0。01 角秒，軸向跳動誤差

＜80nm。

定製化設計 CUSTOM DESIGN

氣浮轉檯可安裝滑環，用於空間模擬裝置，MEMS 和慣性導航等應用。

注： 1。 空氣供應需清潔，乾燥至 0°F 露點，灰塵顆粒過濾≤0。25um 或純度 99。99% 氮氣。

2。 以上精度測量的測試位置在工作臺面中心以上 25mm 處，測試環境溫度 20±1℃，溼度 40%-60%RH。

深圳市煜熙科技有限公司面向全國各大高校、研究院及高階裝備製造企業提供最優的運動平臺系統及解決方案。